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采用電弧離子鍍方法在不銹鋼基體上沉積Cr2O3氧化鉻涂層薄膜.研究了氧流量和脈沖偏壓對薄膜相結構、沉積速率、表面形貌、薄膜硬度的影響.結果表明,氧流量和脈沖偏壓對氧化鉻涂層薄膜的相結構有較大的影響.在氧流量為130cm3/s、脈沖偏壓為-100V時,出現(xiàn)Cr2O3{001}面擇優(yōu)取向;氧流量增高,脈沖偏壓增大時,薄膜的表面形貌得到改善;

在脈沖偏壓為-200V、氧流量為130cm3/s時,可獲得符合Cr2O3氧化鉻涂層化學計量比的薄膜,其硬度達到36GPa。